X射线荧光光谱仪应用于水泥、钢铁、建材、石化、有色、硅酸盐、煤炭、高岭土、耐火材料、科研、环保等行业，是一种中型、经济、高性能的光谱仪。采用固定通道，减少测量时间；固定通道尤其适用于荧光产额较低的轻元素和微量元素的测定，以提高分析精度和灵敏度。X荧光光谱仪采用操作方便，用户习惯的智能化软件，提供全自动分析操作，实现快速定性、定量分析和半定量分析。
X射线荧光光谱仪具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。能分析B(5)~U(92)之间所有元素。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析，并能给出半定量结果，结果准确度对某些样品可以接近定量水平，分析时间短。薄膜分析软件FP-MULT1能作镀层分析，薄膜分析。测量样品的大尺寸要求为直径51mm，高40mm。
X射线荧光光谱仪可分为具有高分辨率的光谱仪，分辨率较低的便携式光谱仪，和介于两者之间的台式光谱仪。高分辨率光谱仪通常采用液氮冷却的半导体探测器，如Si（Li）和高纯锗探测器等。低分辨便携式光谱仪常常采用正比计数器或闪烁计数器为探测器，它们不需要液氮冷却。近年来，采用电致冷的半导体探测器，高分辨率谱仪已不用液氮冷却。同步辐射光激发X射线荧光光谱、质子激发X射线荧光光谱、放射性同位素激发X射线荧光光谱、全反射X射线荧光光谱、微区X射线荧光光谱等较多采用的是能量色散方式。
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