X射线荧光光谱仪应用于水泥、钢铁、建材、石化、有色、硅酸盐、煤炭、高岭土、耐火材料、科研、环保等行业，是一种中型、经济、高性能的光谱仪。采用固定通道，减少测量时间；固定通道尤其适用于荧光产额较低的轻元素和微量元素的测定，以提高分析精度和灵敏度。X荧光光谱仪采用操作方便，用户习惯的智能化软件，提供全自动分析操作，实现快速定性、定量分析和半定量分析。
X射线荧光光谱仪一般有三点分析模式：
·点分析
将电子探针固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。该方法用于显微结构的成份分析，例如对材料晶界、夹杂、析出相、沉淀物、奇异相及非化学计量材料的组成等分析。
·线分析
电子束沿一条分析线进行扫描(或试样扫描)时，能获得元素含量变化的线分布曲线。如果和试样形貌像(二次电子像或背散射电子像)对照分析,能直观地获得元素在不同相或区域内的分布。沿感兴趣的线逐点测量成分，也可以划出该线的成分变化曲线。
·面分析
将电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在CRT上以亮度分布显示出来（定性分析)，亮度越亮，说明元素含量越高。研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常与形貌像对照分析。
X射线荧光光谱仪的点、线、面分析方法用途不同，检测灵敏度也不同，定点分析灵敏度zui高，面扫描分析灵敏度zui低。
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