X射线荧光光谱仪的原理和组成部分介绍

X射线荧光光谱仪主要由以下几部分组成：

 

（1）X射线系统（X射线光管、高压变压器、管压管流控制单元）；

（2）水循环冷却系统（内外部冷却水单元、温度、电导率控制监测单元）；

（3）真空系统（真空泵、样品室）；

（4）检测系统（光谱室、分光晶体、衰减器、狭缝、测角仪、晶体交换器等）；

（5）检测记录系统（流<充>气正比计数器和闪烁计数器、脉冲高度分析器等）；

（6）数据处理系统。

X射线荧光光谱仪基本原理：

 

X荧光光谱仪（XRF）由激发源（X射线管）和探测系统构成。X射线管产生入射X射线（一次X射线），激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。 

用X射线照射试样时，试样可以被激发出各种波长的荧光X射线，需要把混合的X射线按波长（或能量）分开，分别测量不同波长（或能量）的X射线的强度，以进行定性和定量分析，为此使用的仪器叫X射线荧光光谱仪。